窒化物系エピ基板

次世代パワー半導体や高周波デバイスに用いられるワイドバンドギャップ材料である窒化ガリウム（GaN）。弊社の窒化ガリウムエピ基板は独自のバッファー層により高耐圧と良好な平坦性の両立をSi基板上に実現しました。（GaN on Si HEMTエピ基板）

p-GaN cap層、AlGaN DH構造の開発にも取り組んでおり、ノーマリオフHEMTエピ基板の実現を目指しています。

炭化ケイ素（SiC）やサファイア上のGaNエピ基板、高品質LED用AlNテンプレート（サファイア基板上）にも対応いたします。

用途	GaN on Si HEMTエピ基板 パワー半導体用途：インバータ、AC-DCコンバータ 高周波デバイス用途：携帯電話基地局向け エアコンなどのインバータ 携帯電話基地局などの高周波用
製品特徴	GaN on Si HEMTエピ基板 高耐圧（1000V)＆低リーク電流（1E-6A) クラックフリー 良好な反り（Bow＜50μm） ウェハサイズ（3、4、6インチ） 厚膜対応可能（4.8μm） p-GaN cap層、AlGaN DH構造

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